一、產(chǎn)品簡介

仕富梅全新的SERVOPRO NanoChrome 超痕量氣體分析儀，通過引進(jìn)最先進(jìn)的氣體傳感技術(shù)和信號(hào)處理方法, 徹底改變了半導(dǎo)體行業(yè)中的超高純氣體分析，專為半導(dǎo)體生產(chǎn)中處于超痕量水平的雜質(zhì)氣體和烴類測(cè)量而設(shè)計(jì)。卓越的NanoChrome采用由仕富梅特別開發(fā)的一種創(chuàng)新高靈敏度的等離子體發(fā)射探測(cè)器(PED)從而能夠提供超低檢測(cè)限度。已通過氬氣和氮?dú)獾某哿繙y(cè)量測(cè)試，擴(kuò)展的測(cè)量波長使測(cè)量H2, CH4, CO 以及CO2以及直鏈烴的測(cè)量無需甲烷轉(zhuǎn)化器。由于無需可燃?xì)怏w，仕富梅PED傳感器增加了安全性，同時(shí)降低了運(yùn)營成本。

二、產(chǎn)品特點(diǎn)

u BETTER THAN THE GETTER 的多組分超微量級(jí)氣體分析儀

u 適用于 Ar/N2/H2/CH4/CO/CO2/NMHC 的 PED 傳感器無需維護(hù)

u 無需燃料氣，從而提高了安全性

u 智能平臺(tái)，獨(dú)立軟件的單機(jī)系統(tǒng)

u 基于互聯(lián)網(wǎng)的遠(yuǎn)程操控

u 內(nèi)置校準(zhǔn)系統(tǒng)

u 與仕富梅公司的 Delta F 系列超高純氣體分析儀一道為客戶提供全面解決方案

三、產(chǎn)品規(guī)格

LDL：檢測(cè)限低達(dá) 300ppt（根據(jù)具體情況加以應(yīng)用）

量程：0-250ppb（用戶可以配置）

重量：11-27Kg (25-60lbs)（根據(jù)具體情況加以應(yīng)用）

校準(zhǔn)：250ppb 標(biāo)氣或在選裝內(nèi)部稀釋系統(tǒng)條件下使用5ppm標(biāo)氣

功率消耗：400W-1200W

運(yùn)載氣體：凈化的氦氣或氬氣

可重復(fù)性：檢測(cè)限讀數(shù)誤差為 ±2%，以較高者為準(zhǔn)

樣氣流量：50-350ml/min（根據(jù)具體情況加以應(yīng)用）

樣氣壓力：30psig（根據(jù)具體情況加以應(yīng)用）

載氣流量：通常為 90-500ml/min（根據(jù)具體情況加以應(yīng)用）

載動(dòng)壓力：建議為 100psig

檢測(cè)器類型：增強(qiáng)型等離子發(fā)射檢測(cè)器

燃料和空氣：任何情況下都不需要

流量穩(wěn)系統(tǒng)：全部流量采用PID系統(tǒng)進(jìn)行電子控制

尺寸 (WxDxH)：底盤或從機(jī)箱，標(biāo)準(zhǔn)機(jī)架安裝式4U附件482 x 600 x 177mm (19 x 24 x 7")

四、圖片展示